干泵腔內(nèi)無任何潤滑油，四對斷面相同的轉(zhuǎn)子，分別在它們各自的泵腔內(nèi)固定在兩個平行的軸上，用一對時限齒輪把它們連接并調(diào)整到使它們相互不接觸，有一定的間隙。

沈科儀 SKY 渦旋干式真空泵簡介

干泵腔內(nèi)無任何潤滑油，四對斷面相同的轉(zhuǎn)子，分別在它們各自的泵腔內(nèi)固定在兩個平行的軸上，用一對時限齒輪把它們連接并調(diào)整到使它們相互不接觸，有一定的間隙。干泵工作時，泵腔容積不斷周期性地發(fā)生變化，由大到小和由小到大，這樣利用氣體通道的啟閉作用實現(xiàn)抽氣作用，并且采用拼接成套的結(jié)構(gòu)，細(xì)小雜質(zhì)和灰塵可通過氣道和氣體一起排出泵外，泵的連續(xù)工作入口壓力為5000Pa，可直排大氣。